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首先,将光致抗蚀剂(光敏树脂)滴在硅晶片上,并通过高速旋转均匀地涂覆光致抗蚀剂膜,并在适当的温度下固化光致抗蚀剂膜。
光刻胶是一种对光,温度和湿度非常敏感的材料。它可以在曝光后改变华雪的特性,这是整个过程的基础。
下一步是紫外线照射。
就单个技术过程而言,光刻过程是最复杂且最昂贵的。
因为光刻模板,
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我让人类文明加速一亿年
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继续阅读:第115章 原子印记
我学会啦