赫尔曼·施耐德,这位严谨的德国光学大师,看着陈昂,眼神里第一次露出了真正的敬佩。他原本以为,陈昂只是一个有钱的、懂技术的商人。现在他才明白,这个年轻人的胸中,怀着的是星辰大海。
而荷兰人埃里克·詹森,更是兴奋地吹了声口哨。他最喜欢的就是这种听起来不可能完成的任务。
孙建业在旁边听得也是心潮澎湃,他捅了捅陈昂,压低声音说:“行啊小陈,你这思想动员工作,做得比我这个老政委还到位!‘女娲补天’,嘿,这个词提得好!提神!带劲!”
陈昂笑了笑,继续说道:“空有伟大的目标是不够的,我们还需要科学的组织和明确的分工。”
他转身,指向身后的大屏幕。
屏幕上,出现了一张复杂的组织架构图。
“‘女日志愿’,将下设三大核心实验室,和一大支撑平台。”
“第一,光学核心实验室。由赫尔曼·施耐德先生担任首席科学家。负责‘女娲一号’光刻机所需要的一切光学元件,特别是193纳米DUV镜头的研发、制造和测试。‘卡尔·恩斯特’的全体工程师,将是这个实验室的核心力量。”
赫尔曼站起身,对着众人微微鞠躬,脸上是前所未有的郑重。
“第二,系统集成实验室。由埃里克·詹森先生担任首席科学家。负责光刻机的总体设计,特别是光源系统、能量控制器和晶圆工作台的研发。来自荷兰的团队,将主导这项工作。”
埃里克也站了起来,对着众人,行了一个有些不羁的抚胸礼。
“第三,工艺应用与量产实验室。由梁卫国总工程师,担任负责人。”陈昂的目光,投向了梁卫国。“这个实验室,将由我们中国的工程师团队组成。你们的任务,是深度参与前两个实验室的所有研发过程,像海绵一样吸收所有技术细节。同时,你们要负责建立最终的生产线,优化量产工艺,并且,为我们未来的自主化,培养出第一代光刻机产业的种子!”
梁卫国猛地站起身,挺直了胸膛,大声回答:“保证完成任务!”
声音洪亮,掷地有声。
最后,陈昂的目光,落在了孙建业身上。
“最后,是我们的后勤与文化支撑平台。这个平台,将由我的前辈,孙建业厂长负责。他将担任‘女娲计划’的首席士气官。”
“首席……啥玩意儿?”孙建业愣住了。
陈昂忍着笑,解释道:“您的任务,就是保证我们来自三个国家,上百名顶尖人才,能够在这里,吃好,喝好,住好,没有任何后顾之忧。同时,负责协调大家的关系,促进文化交流,让德国的严谨,荷兰的创新,和中国的勤奋,能够完美地融合在一起。”
孙建业一听,乐了。搞后勤,做思想工作,这不就是他的老本行嘛!虽然“首席士气官”这个名字听着洋气,但活儿还是那个活儿。
“没问题!保证让这帮德国佬、荷兰豆,到了咱们的地盘,就跟回家一样舒坦!饭管够,酒管饱!”老厂长拍着胸脯,中气十足地保证道。
会议室里,响起了一阵善意的笑声,原本有些紧张的气氛,顿时轻松了不少。
一场宏伟的“女娲计划”启动大会,就这样,在一个个明确的任命和一阵阵欢声笑语中,落下了帷幕。
众神,已经各就各位。
补天的熔炉,已经架起。
剩下的,就是将那些最坚硬的“五色石”,投入到熊熊的烈火之中,进行千锤百炼。
没有人知道,这条路,要走多久。
也没有人知道,这条路上,会遇到多少艰难险阻。
但所有人的心中,都燃起了一团火。
那团火,名叫希望。
“女娲计划”的熔炉,点燃了所有人的激情,但激情并不能直接转化为成果。
当来自不同国家、拥有不同文化背景和技术理念的顶尖人才,真正在一个屋檐下开始协同工作时,最初的新鲜感和使命感,很快就被现实的摩擦所取代。
计划启动后的第一个月,问题就爆发了。
爆发点,是整个光刻机系统中,技术难度最高、也最核心的部件之一——承载着硅晶圆,需要以纳米级精度进行超高速移动的“晶圆工作台”。
“女娲计划”的主实验室里,气氛凝重得仿佛能拧出水来。
一边,是以赫尔曼·施耐德为首的德国工程师团队。
另一边,是以埃里克·詹森为首的荷兰工程师团队。
中国的工程师们,则站在中间,左右为难,神情焦虑。
两拨人中间的桌子上,摆着两套截然不同的设计方案。
“我再说一遍,我们必须采用气浮轴承方案!”赫尔曼的声音,像他手中的游标卡尺一样冰冷而精确,“这是目前最成熟、最可靠的技术。我们有完整的理论数据,有几十年的应用经验,它的误差和稳定性,是完全可控的!我们不能在一个投资数十亿的项目上,拿不成熟的技术去冒险!”
他的面前,是一份厚达数百页的设计图纸,上面每一个线条,每一个数据,都透露着德意志工业的严谨与厚重。这是“安全”的方案,是教科书式的方案,但它的缺点也同样明显——移动速度和加速度受限于空气黏滞性,存在一个物理上限,这会直接影响到未来光刻机的生产效率。
“狗屎!可控的垃圾,还是垃圾!”埃里克毫不客气地反驳道,他那头乱糟糟的金发,因为激动而上下跳动,“用空气?我们在造一台21世纪的机器,不是19世纪的蒸汽机!气流是你能完全控制的吗?温度、湿度、灰尘,任何一点微小的变化,都会导致灾难性的后果!”
他指着自己面前那份草图一样的设计稿,上面画满了复杂的磁场线和控制回路。
“磁悬浮!这才是未来!用超高精度的电磁铁,构建一个无接触、无摩擦的运动平台!它的速度,它的加速度,在理论上,可以比气浮方案高出十倍!十倍!这意味着我们的生产效率,将是全世界最高的!”
埃里克的方案,是天才的构想,是疯狂的跃进。但它同样面临着巨大的难题——如何精确控制上百个电磁铁的磁场强度,来实现纳米级的平稳运动?这需要极其复杂的控制算法和强大的运算能力,在1980年代,这几乎是一个不可能完成的任务。
“理论上?我只相信数据!”赫尔曼吹胡子瞪眼,“你的理论,能保证在每秒移动一米的速度下,平台的抖动幅度小于5纳米吗?你的算法,能应付得了电磁干扰和热漂移吗?这简直是拿整个计划在赌博!”